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日本sanyu electron臺式快速涂布機

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更新日期：2023-03-19

簡要描述：

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設備。
使用磁控管陰極
內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制

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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ


特征


  • 支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設備。

  • 使用磁控管陰極

  • 內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制

  • 操作方式為全自動/手動兩種模式

  • 標配自動快門機構

應用/結果示例


  • W / Ni / Cr / Ti等的成膜

  • 燃料電池基礎實驗

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ

基本規格


陰極φ2英寸磁控管陰極
快門機制自動/手動操作
氣體導入機制針閥（自動/手動控制）
真空泵直連式旋轉泵：100l / min（有自動泄漏）
箱體尺寸內徑φ160mmx D160mm（SUS制）
樣品交換方法前門開合式
尺寸（寬/深/高）機身：
360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm
重量身體：20公斤
RP：23公斤


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