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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC

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更新日期:2023-03-19

簡要描述:

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC
使用磁控管陰極以減少離子損傷
排氣→涂層→全自動,直到進入大氣
磁控管陰極有助于生產高質量的濺射薄膜

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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC

特征


  • 使用磁控管陰極以減少離子損傷

  • 排氣→涂層→全自動,直到進入大氣

  • 磁控管陰極有助于生產高質量的濺射薄膜

  • 電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆

應用/結果示例


  • 各種設備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等的應用

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701MC

基本規格


陰極φ2英寸直流磁控管/ 2極面對電極
目標包含金靶
膜厚設定方法預設方法/帶膜厚監視器的數字顯示
氣體導入機制針閥
真空泵直連式旋轉泵:20l / min(帶自動泄漏)
排氣操作自動的
箱體尺寸內徑φ120mm x D120 mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身體:15公斤
RP:9公斤


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