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日本sanyu electron臺式快速涂布機

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更新日期(qi)：2023-03-19

簡要描述：

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列
離子濺射設備，用于大型基材的全涂層
濺射靶材的尺寸為1英寸，例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形(xing)成微通道流動路徑以及濺射薄膜制造(zao)時支持PDMS表面處理

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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列


特征(zheng)


  • 離(li)子(zi)濺射設備，用于大(da)型基(ji)材的全涂層(ceng)

  • 濺射靶材的尺寸(cun)為1英(ying)寸(cun)，例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。

  • 在形成(cheng)微通道流動(dong)路(lu)徑以及濺射薄膜制造時支持PDMS表面處(chu)理

  • 配備涂布模式/蝕(shi)刻模式

應用/結果(guo)示例


  • 各種設備的電極膜附件

  • 反光膜的制(zhi)造應用

  • 樣品(pin)表面(mian)親(qin)水處理(li)的應用（蝕刻(ke)模(mo)式）

  • PDMS表面處理應用程序(xu)（蝕刻模式(shi)）等

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列

基本規格


陰極φ4-8英寸/ 2極(ji)電(dian)極(ji)
濺(jian)射電流
蝕刻電流		0-50mA（包(bao)括(kuo)電流(liu)表）
濺射電壓
蝕刻電壓		0.8 / 1.4kV
氣體(ti)導入機制(zhi)針(zhen)閥
真(zhen)空泵直連式旋(xuan)轉泵：100l / min（有自動泄漏）
箱體尺寸內徑φ240mmx D240mm（SUS制）
樣品交換方法(fa)前門開合式
樣本量z大φ4?8英寸
尺寸（寬(kuan)/深/高）主體：282/450 / 440mm
RP：460/175 / 265mm
重量(liang)身(shen)體：約(yue)20kg
RP：23kg


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