excimer臺式紫外線照射設備臭氧分解OZFDT型 

特征

• 分解桌面紫外線照射設備產生的臭(chou)氧廢氣。

• 即使在沒有局(ju)部排氣(qi)設備(bei)的(de)環(huan)境(jing)中也能對臭氧進(jin)行(xing)解毒。

• 非金屬(shu)催化劑分解高(gao)濃度(du)臭氧氣體

• 廢(fei)氣濃度 0.1ppm 以(yi)下

• 長壽命設計催化劑(ji)壽命 1 年

臭氧用于殺菌、除臭、清洗、重整等時，臭氧氣體難以排出。如果直接用完，管道和風扇會腐蝕，很危險。如果排到外面，它會擴散，但不安全，因為排氣口附近的臭氧氣體濃度很高。在工廠，酸廢氣用抽氣機或洗滌器處理，但在工廠外，通常用臭氧過濾器排除。
傳統的臭氧過濾(lv)器(qi)(qi)分解器(qi)(qi)需要(yao)大容量、成本高(gao)且占用空間大，才能在短時間內處理高(gao)濃(nong)度臭氧氣體。為了配合小型(xing)臭氧利用裝置使用臭氧過濾(lv)器(qi)(qi)，通常在裝置內部放(fang)置臭氧過濾(lv)器(qi)(qi)，循環直至臭氧氣體被稀釋。

我們在半導體制造設備等方面積累了豐富的技術和經驗，盡管臭氧過濾器尺寸小，但由于其高性能，因此無需在設備中循環臭氧氣體即可一次性排出的廢氣濃度為0.1 ppm或更(geng)少。我們已經實現并銷售了帶有內置排氣扇的臭氧分解裝置。這種方法的優點是不需要循環處理，縮短了整個設備的處理時間。此外，由于臭氧分(fen)解過濾(lv)(lv)器(qi)在(zai)(zai)設備外部(bu)，因此不(bu)存在(zai)(zai)臭氧過濾(lv)(lv)器(qi)中使用(yong)的活性炭(tan)和重金屬催化劑等成(cheng)分(fen)導致(zhi)設備內(nei)部(bu)再污染的結構可能(neng)性。單程臭氧消減裝置是(shi)一(yi)種超潔凈設計理念。

excimer臺式紫外線照射設備臭氧分解OZFDT型 

規格