lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

超快質量流(liu)量控制器，響應時間為(wei)200毫秒。

熱(re)傳感(gan)器(qi)實現100msec（典型(xing)值）的高速流量控(kong)制(zhi)。 Lintec的非接觸式熱(re)流量傳感(gan)器(qi)和壓電控(kong)制(zhi)閥可實現腐蝕性氣體(ti)的超(chao)快(kuai)速流量控(kong)制(zhi)。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數(shu)字通(tong)信(xin)方式DeviceNet和EtherCAT進行。

長處

• 超快流量控制 200 毫(hao)秒

• 準確(que)度±1%SP

• 工(gong)作(zuo)溫(wen)度 5~50°C

• 金屬密封(feng)件

• 清潔（保證(zheng)顆粒）

• 環境溫度補償傳(chuan)感器

• EtherCAT通信

• 設備網(wang)絡™通(tong)信

超快(kuai)流量控制

使用示例

快(kuai)速蝕刻工藝

在(zai)半導體制造(zao)過程中，需要在(zai)小型化(hua)的(de)同時提(ti)高(gao)吞吐(tu)量(liang)(liang)(liang)。 即使在(zai)控(kong)制反應氣(qi)體流(liu)量(liang)(liang)(liang)的(de)質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制器中，對(dui)縮短(duan)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制的(de)啟(qi)動(dong)(dong)（啟(qi)動(dong)(dong)）時間的(de)需求也在(zai)增(zeng)加。 超(chao)高(gao)速質量(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制器[MC-7000]是一(yi)種非接(jie)觸(chu)式熱流(liu)量(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器，不接(jie)觸(chu)流(liu)量(liang)(liang)(liang)傳(chuan)感器和流(liu)量(liang)(liang)(liang)測量(liang)(liang)(liang)氣(qi)體，實現200ms的(de)超(chao)高(gao)速響應。 非接(jie)觸(chu)式可實現腐蝕性氣(qi)體流(liu)量(liang)(liang)(liang)測量(liang)(liang)(liang)的(de)高(gao)速流(liu)量(liang)(liang)(liang)控(kong)制。

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

規格