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更新日期：2023-03-24
簡要描述：
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC高溫質量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環境中。
| 品牌 | 其他品牌 | 類型 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 1m3/h |
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環境中。
通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。
塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應對腐蝕性氣體。
作為選項，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。
最高工作溫度最高120°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
RS-485 通信
兼容液化氣
加熱塊
CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來流動氣體。 因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產生壓差來確保的。 MC-3000L-TC 能夠進行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。
lintec高溫質量流量控制器MC-3000L-TC
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標準 | 最高 F.S. | 密封 | |
| 低 | 80~100°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
| 高 | 100~120°C | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | 金 |
* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。
