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更新日(ri)期：2023-03-22
簡要描述：
日本ulvac熱陰極電離真空計AxTRANAxTRAN 是一(yi)種熱陰極電離(li)真空計(ji)，在離(li)子(zi)源和離(li)子(zi)收集(ji)器之間帶有 Bessel-Box 型能量過濾器。通(tong)過減少軟X射線、ESD離(li)子(zi)等引起的(de)剩余電流，實(shi)現了0.5×10 -10 Pa的(de)測量分辨率(lv)。
日本ulvac熱陰極電離真空計AxTRAN
AxTRAN 是(shi)一種(zhong)熱陰極電(dian)(dian)離(li)真(zhen)空計，在離(li)子(zi)源和離(li)子(zi)收(shou)集器之(zhi)間帶(dai)有(you) Bessel-Box 型能量(liang)過濾器。通過減少軟X射線(xian)、ESD離(li)子(zi)等引起的(de)(de)剩余電(dian)(dian)流，實現了0.5×10 -10 Pa的(de)(de)測量(liang)分辨率。
特征
能夠(gou)測量(liang)(liang)10 -11 Pa量(liang)(liang)級的壓力(li)
可(ke)降低軟 X 射線、ESD 離子(zi)等的殘余電流(liu)。
1×10 -2至 0.5×10 -10 Pa 的寬壓力范圍
0 至 10V 的(de)壓(ya)力(li)偽對(dui)數輸出/每個數字的(de) 1V 線性輸出作(zuo)為(wei)標準設(she)備
可輸出(chu) 2 個(ge)設定值
BCD/RS232C 可能（可選）
符合 CE 標準
用途
用于高能(neng)加(jia)速器等真空設備(bei)的壓力測量
用于超(chao)(chao)高、超(chao)(chao)高真空設(she)備的壓力(li)測(ce)量
日本ulvac熱陰極電離真空計AxTRAN
規格
| 模型(xing) | ISX2 |
| 測量壓力范圍 | 5×10 -11～1×10 -2帕 |
| 測定分解能 | 0.5×10 -10帕 |
| 表示 | 數(shu)顯 尾數(shu) 3 位 指(zhi)數(shu) 2 位 |
| 脫氣(qi) | 電(dian)子沖擊解吸(xi)法 |
| 測(ce)量值輸出 | 每(mei)位線性輸出尾數：0 至 10 VDC |
| 偽對數輸出：DC0～10V，每(mei)一(yi)位線性(xing)輸出1V | |
| 設(she)定點 | 2點 |
| 工作溫度限制 | 10～40℃ |
| 工作濕度范(fan)圍 | 15 至 80%（無冷凝） |
| 電源(yuan)電壓 | AC85～240V |
| 尺寸 W×D×H | 240mm×350mm×99mm |
| 質量 | 5.3 公斤 |
| 配件 | AC100V（3P插頭接地）電源線，使(shi)用說(shuo)明(ming)書 |
| 選項(xiang) | 探(tan)頭：X-11 |
| 傳感(gan)器電纜：5、10、20m | |
| BCD輸(shu)出，RS232C/RS485 |
| 探頭類型 | X-11 |
| 能量(liang)過濾(lv)器(qi) | Bessel-Box型 |
| 燈絲(si) | Ir?Y2O3 / 2 |
| 安裝法蘭 | UFC-070 |
| 烘烤(kao)溫(wen)度 | 最(zui)高(gao) 300°C（移除電纜） |
