日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

RAMANdrive 是一款專用于半導體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺。
載(zai)物臺(tai)可(ke)以準(zhun)確平穩地移動到晶(jing)圓上(shang)所需的位置，實現高性能(neng)拉曼光譜成像(xiang)分析。

配(pei)備(bei)專有的 300mm 晶圓載物臺

配備(bei)專用載(zai)(zai)物臺(tai)，最大可放置300mm的大直徑晶(jing)(jing)圓(yuan)。真空吸附機構(gou)使晶(jing)(jing)圓(yuan)保持水平(ping)并將(jiang)其(qi)牢固(gu)地固(gu)定在(zai)平(ping)臺(tai)上。由于載(zai)(zai)物臺(tai)具(ju)有較(jiao)寬的可移動范圍，因此可以(yi)(yi)在(zai)視野中(zhong)心從晶(jing)(jing)圓(yuan)邊緣(yuan)到(dao)邊緣(yuan)的任(ren)何位置進(jin)行捕捉(zhuo)和(he)測量。晶(jing)(jing)圓(yuan)以(yi)(yi)外(wai)的高樣品可以(yi)(yi)放置在(zai)平(ping)臺(tai)中(zhong)央的凹槽中(zhong)。

用于快速可靠地捕獲測量目標的載(zai)物(wu)臺導航

高性能拉曼光譜成像

為了顯著(zhu)提高(gao)(gao)拉(la)(la)曼(man)(man)(man)圖像(xiang)的采集速度，我們開發了一種的線(xian)照(zhao)明(ming)技術，將激光束拉(la)(la)伸成(cheng)一條線(xian)并照(zhao)射到(dao)樣品(pin)上(shang)。從樣品(pin)上(shang)的線(xian)形照(zhao)明(ming)區域同時檢(jian)測到(dao) 400 個拉(la)(la)曼(man)(man)(man)光譜。此外，通過安裝高(gao)(gao)精度掃(sao)描鏡，實現了激光束掃(sao)描成(cheng)像(xiang)。規定分(fen)析(xi)區域后，無(wu)需移(yi)動(dong)載物(wu)臺(tai)，只需幾(ji)分(fen)鐘即(ji)可獲得超過 100,000 像(xiang)素的高(gao)(gao)清拉(la)(la)曼(man)(man)(man)圖像(xiang)。

RAMANdrive 配備高質(zhi)量(liang)的(de)(de)(de)共(gong)焦光學器件，在所有 XYZ 方向上(shang)擁有最高的(de)(de)(de)空(kong)間(jian)分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的(de)(de)(de)微粒的(de)(de)(de)檢測靈(ling)敏度(du)。出色的(de)(de)(de)光譜分辨率和峰(feng)值定位精度(du)能夠對應力和多型(xing)進行高度(du)準確的(de)(de)(de)分析。

識(shi)別 100 nm 或更小(xiao)的(de)微小(xiao)異(yi)物

空間分辨率顯著提高(gao)了對(dui)小于(yu)光斑尺寸的(de)顆(ke)粒的(de)檢測靈敏度(du)。選配的(de)高(gao)品質(zhi)暗場觀察功能可(ke)清晰(xi)確(que)認100nm以(yi)下微小異物(wu)(wu)的(de)位置，高(gao)精度(du)激光束掃描將激光束準確(que)照射到異物(wu)(wu)中心(xin)。可(ke)以(yi)獲得具有(you)高(gao)信噪比的(de)拉曼光譜，從而可(ke)以(yi)高(gao)精度(du)地(di)識別污染物(wu)(wu)。

3D 拉曼成(cheng)像以可視化應力分布(bu)

RAMANdrive 配備高(gao)性能共(gong)焦光(guang)學器件，可(ke)對 SiC、GaN 和(he)金(jin)剛(gang)石等(deng)透明樣品(pin)進(jin)行深度成像。通過(guo)斷層拉曼成像獲(huo)得的 SiC 晶(jing)片中應力(li)分布的數據表明，研磨(mo)劃痕引起的應力(li)通過(guo)拋光(guang)得到了(le)降低(di)。

日本nanophoton帶晶圓載物臺的拉曼顯微鏡 RAMANdrive

規格

主要業績

主要規(gui)格

車身尺寸和重量