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更新日期：2023-03-21
簡要描述：
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機MSP-12in配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺。使用磁控管方法，當涂層電壓為 500V 或更低時，可減少離子損傷。
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機MSP-12in
配備兼容 12 英寸晶圓的大面積樣品臺。使用磁控管方法，當涂層電壓為 500V 或更低時，可減少離子損傷。
從脫氣到大氣氣體引入和涂層的全自動操作，具有自動涂層功能。
配備前滑動式樣品臺，可輕松放入和取出樣品。如果安裝 Ag 靶材，則可以輕松進行透明薄膜等光澤處理。
MSP-12in
靶材的直徑為 12 英寸（直徑 300 毫米），均勻地覆蓋整個 12 英寸晶圓。它適用于大面積涂層和大量樣品的涂層。
MSP-12S
靶電極的 尺寸為直徑 50 mm。當您想要對大面積樣品（例如 12 英寸晶圓）的一部分進行鍍膜時，可移動靶非常有用。通過縮小電極尺寸可以降低運行成本。此外，無需破碎大晶片。
日本shinkuu φ300mm Pt 鍍膜機MSP-12in
主要產品規格
| 物品 | 規格 |
| 電源 | 單相AC100V15A 3芯插頭帶地線 |
| 設備尺寸 | 寬 450 毫米，深 440 毫米，高 427 毫米 （設備重量 30 公斤） |
| 旋轉泵 | G-101D 寬 234 mm，深 500 mm，高 264 mm 重量 25 kg |
| 涂裝室尺寸 | 內徑 330 毫米，高度 80 毫米 |
| 目標電極尺寸 | 直徑300mm |
| 樣品臺 | 直徑300mm |
