日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

AP250和(he)(he)AP500是(shi)適(shi)用(yong)于半導體制(zhi)造工藝等(deng)中使(shi)用(yong)的(de)清潔氣(qi)體壓力控制(zhi)的(de)大流量(liang)型(xing)控制(zhi)器，由氣(qi)壓控制(zhi)單元（相(xiang)當于AP100N）和(he)(he)圓(yuan)頂型(xing)調節器單元組成。

　此外(wai)，外(wai)部安(an)裝有壓力(li)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)，來(lai)自傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的信號輸入到氣(qi)(qi)壓控制(zhi)單元(yuan)，氣(qi)(qi)壓控制(zhi)組的閥被開/關控制(zhi)，以(yi)調(diao)節(jie)調(diao)節(jie)器(qi)中球罩(zhao)的內部壓力(li)自動調(diao)節(jie)以(yi)匹配任何設(she)定的壓力(li)值。通過將(jiang)流(liu)量傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)安(an)裝到外(wai)部，它也(ye)可以(yi)用(yong)作(zuo)流(liu)量控制(zhi)器(qi)。

　AP250的(de)控制(zhi)流量為5001 / min，AP500的(de)控制(zhi)流量為2000L / min，兩(liang)種類型的(de)控制(zhi)壓(ya)力(li)約為600kPa。

　壓力接(jie)頭(tou)與適(shi)(shi)用于(yu)(yu)(yu)(yu)AP250的(de)1/2“ VCR和適(shi)(shi)用于(yu)(yu)(yu)(yu)AP500的(de)3/4” SWAG等效或等同于(yu)(yu)(yu)(yu)用于(yu)(yu)(yu)(yu)AP500的(de)3/4“ VCR等效。適(shi)(shi)用于(yu)(yu)(yu)(yu)真空(kong)清潔氣(qi)(qi)體，用于(yu)(yu)(yu)(yu)導體，惰性氣(qi)(qi)體，腐蝕(shi)性氣(qi)(qi)體，危(wei)險(xian)氣(qi)(qi)體等可以使用。

日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規格(ge)