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日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格

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更新日期：2023-03-17

簡要描述：

日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格
?固有振動數：約3.0Hz
?高減衰：共振倍率約3倍

日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格

特點

  • ?固有振動數：約3.0Hz
  • ?高減衰：共振倍率約3倍
  • ?高耐久性
  • ?付內部過浮上防止機構
  • ?付自動水平調整器
  • ?付減衰機構
  • ?可依據機臺規格客制化

防振臺使用案例

  • ?半導體檢查機臺
  • ?液晶檢查機臺
  • ?LaserRepair機臺
  • ?Inspection機臺
  • ?SEM、TEM
  • ?超精密加工機
  • ?光學機臺

日本昭和SSC超精密加工機用隔震臺AT規格

規格

型　　式AT-120AT-250AT-415AT-615AT-855
規格：A×B (E)mm230×230(233)230×230(260)330×330(340)360×360(370)420×420(460)
規格：
C×Dmm		210×210210×210300×300330×330390×390
規格：
Hmm		148148170170170
質　　量
(kg/個)		7.5kg7kg15kg18kg20kg
搭載可能重量(kg/個)450kg1000kg1,500kg2,400kg3,000kg
固有振動數水平?垂直：約3.0Hz
水平方法使用自動水平調整器來維持水平
供給空氣源(MPa)0.4～0.6
附屬品氣壓調節閥(1個)、φ6塑膠管(10m)、T型連結管(2個)

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