Autocrater拋光機的原理分析

發布日期：2022-11-15      瀏覽次數：262

Autocrater拋光機的原理分析

Autocrater可以(yi)通(tong)過用旋(xuan)轉的鋼球拋(pao)(pao)光樣品并使用光學顯微鏡測量拋(pao)(pao)光痕跡的長(chang)度(du)來測量薄膜厚度(du)。



■無需(xu)樣品制備(bei)

無需進行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創建橫截面。
可以按原樣測量沉積的樣品。

■可(ke)評估多(duo)層膜

各層(ceng)的膜(mo)厚(hou)可以(yi)通過(guo)化學處理(li)等改變膜(mo)的組成作為(wei)色調的差異來(lai)評價。

■應用實(shi)例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層(ceng)膜

本試(shi)驗(yan)機(ji)根據磨痕長度(du)測(ce)量結果，采用(yong)(yong)ISO20423《弧坑磨削(xue)法測(ce)定(ding)涂層(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)》中規定(ding)的(de)計算(suan)方(fang)法計算(suan)涂層(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)度(du)。此外，為了用(yong)(yong)該測(ce)試(shi)儀(yi)測(ce)量薄膜厚(hou)(hou)度(du)，您將(jiang)需要(yao)一個(ge)單獨(du)的(de)顯微(wei)鏡來測(ce)量拋光痕跡(ji)的(de)長度(du)。

測(ce)量(liang)原(yuan)理及規格

首先，滴(di)下金剛石漿料，并用旋轉的鋼球(qiu)拋(pao)光(guang)樣品表面。	接下來，觀察創建的拋光痕跡并 測量上圖中 X 和 Y 之間的距離。
	根據(ju)測量(liang)的長度(du) X 和 Y 以及用于(yu)拋(pao)光(guang)的球的半徑(jing)，根據(ju)上式計算膜厚(hou)度(du)。

●規格
◆軸轉速：100～3,000rpm
◆可設定旋轉時間：1秒～60分鐘
◆最大樣品尺寸：φ40mm

*可選(xuan)配亞(ya)克力蓋。

消耗品

金剛石漿料和球



日本球SUJ2材質(zhi)	φ20mm
日本球SUJ2材(cai)質	φ30mm
金剛石漿料	粒徑1.0μm（100cc）

*純(chun)國產（日本制(zhi)造）Nanotech制(zhi)造

Autocrater 測量示例

TiN 涂層測試件

• 球直徑：30 mm
• 電機轉速：400 rpm
• 測試時間：30 秒
• 漿料類型：金剛石漿料 1.0 µm