圓晶表面清潔度檢測的重要性

發布日期：2022-11-09      瀏覽次數：296

圓晶表面清潔度檢測的重要性

晶圓表面的潔凈度會影響后續半導體工藝及產品的合格率，早期曾有文獻指出，在制造過程中，因未能有效去除晶圓表面的污染而產生的耗損，在所有產額損失中，可能占達 50% 以上的比例。故上海路陽儀器有限公司根據半導體行業客戶需求，研發出一款FY-18系列臺式表面檢查燈，三種光源可供選擇，適用于產品表面劃痕、污垢、異物的目視檢查。FY-18系列裝有勻光(guang)板(ban)，不刺(ci)眼，無級調(diao)光(guang)設(she)計，客戶(hu)可以調(diao)整(zheng)到自己理(li)想的光(guang)照(zhao)度(du)。采用無風扇設(she)計，可在潔凈(jing)室(shi)中使用，50cm靈活的柔性(xing)臂(bei)，可任意角度(du)照(zhao)射。

FY-18系列(lie)（FY-100R的后(hou)繼(ji)型號）

采用LED光源，非常適合目視檢查產品表面的劃痕、污垢、異物等。
更輕松地對半導體零件、顯示器、樹脂產品和精密零件進行目視檢查。
通過與二向色濾光片相結合，變得更容易觀察，并且對眼睛溫和，減輕了工人的壓力。

特征(zheng)



• 配備18W大(da)功率LED

• 瞬間(jian)點亮(liang)，無需(xu)預(yu)熱

• 具有(you)調光功能

• 對被照射物體無(wu)熱影響

• 由(you)于無風扇，因(yin)此即(ji)使在潔凈室中也可以使用。

• 可通(tong)過柔性臂進行微調

光譜分布圖

FY-18N（白(bai)色）透(tou)明濾光(guang)片



安(an)裝綠色濾光(guang)片



篩(shai)選

標(biao)準(zhun)設備(bei)



清除



擴(kuo)散

可選（單獨出售）
可在 500 至 600 nm 波長下進行檢測。



綠色的



黃色(se)的

產品規(gui)格(ge)